不允许对钢进行退火，否则针状氮化物可能会出现在渗透层结构中。真空热处理对于进行变形处理的零件（例如冲压，锻造，机加工等），应进行应力消除退火处理以减少氮化变形。专业真空热处理厂家还应注意，与粗糙的原始结构相比，精细的原始结构在氮化后具有更高的表面硬度和良好的硬度梯度。因此，正火时的冷却速度不易过慢，回火时的回火温度不宜过高，保持时间不易过长。
金属零件的真空真空热处理厂家是在封闭的真空炉中进行的，严格的真空密封是众所周知的。齿轮简单的渗碳热处理工艺是渗碳后冷却至淬火温度，保温后直接淬火。真空热处理使用这种方法容易使材料晶粒粗大，变脆，工件组织应力大，并且只能携带强度较低的小模数齿轮。目前，生产中常用的20CrMoMn钢零件的工艺是将炉子冷却到550°C，并在渗碳后对其进行风冷，然后重新进入炉子进行加热和淬火。
在此过程中，真空热处理在高温区进行快速冷却仅是为了确保外部金属获得马氏体组织，并且从内部应力的角度来看，此时的快速冷却是有害且无益的。其次，在冷却后期进行慢速冷却的目的主要不是降低马氏体相变的膨胀率和组织的应力值，而是使横截面的温差和金属在收缩时的收缩率小化。横截面的中心，真空热处理从而达到减小应力值和最终抑制淬火裂纹的目的。
避免真空热处理淬火开裂的可靠原理是设法使横截面内外的马氏体转变的不平等最小化。仅在马氏体转变区中进行缓慢冷却不足以防止形成纵向裂纹。通常情况下，它只会在不可硬化的零件上产生电弧裂纹。尽管整体快速冷却是必要的成形条件，但其真空热处理形成的真正原因并不是快速冷却（包括马氏体转变区）本身。
