离子氮化的常用预热处理工艺包括回火，淬火+回火，正火和退火。回火是花都专业真空热处理结构钢常用的预热处理工艺。回火的回火温度至少比氮化温度高20°C（通常高20-40°C）。回火温度越高，真空热处理工件的硬度越低，碳化物在基体结构中的分散性越小，氮原子在渗氮过程中更容易渗透，渗氮层越厚，但渗氮层的硬度越低。
真空热处理淬火零件的局部位置（由几何结构决定），在高温临界温度区域的冷却速度明显减慢，因此没有硬化。大型不可硬化部件中产生的横向和纵向劈裂是由以热应力为主要成分的残余拉伸应力作用在淬火部件的中心以及淬火部件末端的截面中心引起的。真空热处理淬火部分首先形成裂纹，是由内而外膨胀引起的。为了避免这种裂纹，经常使用水油双液淬火工艺。
不允许对钢进行退火，否则针状氮化物可能会出现在渗透层结构中。真空热处理对于进行变形处理的零件（例如冲压，锻造，机加工等），应进行应力消除退火处理以减少氮化变形。专业真空热处理公司还应注意，与粗糙的原始结构相比，精细的原始结构在氮化后具有更高的表面硬度和良好的硬度梯度。因此，正火时的冷却速度不易过慢，回火时的回火温度不宜过高，保持时间不易过长。
加热工件处于花都专业真空热处理中间过程中，并且其变形不能被测量，因此加热过程的变形难以理解并且容易被忽略。实际上，花都专业真空热处理公司不仅加热过程中由热应力引起的变形，而且内应力本身的释放也会引起变形。在获得高精度齿轮产品的制造过程中，还应注意加热过程中齿轮热处理的变形。
