霍顿MT355淬火油在不同油温下的冷却特性曲线，显示了真空热处理样品冷却时间，冷却速率和温度之间的关系，表明了淬火油在不同温度下的冷却能力。真空热处理硬度要求和变形效果，不同的材料具有不同的临界冷却速率，不同的零件具有不同的硬度要求，零件具有不同的精度和变形控制要求。这就需要根据硬度的实际条件和控制变形淬火油的工艺技术要求的适当冷却速度。
稳定温度应低于回火温度且高于氮化温度。真空热处理工具钢氮化前的预热处理工艺一般采用淬火+回火处理。不锈钢氮化前的预热处理工艺一般采用淬火+回火，佛山专业真空热处理目的是消除加工应力，改善组织。退火可用于硬度要求较低的工件。奥氏体不锈钢通常通过固溶处理。球墨铸铁的预热处理大多采用正火处理。钛合金中更常使用退火，而结构钢中很少使用退火处理。
专业真空热处理在耐磨材料领域，高铬/低铬是市场上使用广泛且相对耐磨的主要材料。它广泛用于建筑材料，化学制品和基础设施的破碎材料中，例如炼焦厂制粉机中粉碎机的高铬锤，石材工厂反击中的高铬锤，水泥厂炉排冷却器中的高铬锤等。市场上有许多高铬锤子的真空热处理公司，但它们不被称为高铬锤子。
为了达到真空热处理淬火的目的，通常必须加快零件在高温区的冷却速度，使其超过钢的临界淬火冷却速度以获得马氏体组织。就残余应力而言，这可以增加抵消组织压力的热应力值，因此可以减小工件表面上的拉应力，并达到抑制纵向裂纹的目的。其效果将随着高温冷却速度的加快而增加。此外，在硬化的情况下，工件的横截面尺寸越大，尽管实际的真空热处理冷却速度较慢，但是破裂的风险实际上更大。
