在热应力的作用下，表面温度低于纤芯，收缩率大于纤芯，这导致纤芯拉伸。冷却完成后，由于芯的最终冷却量无法自由收缩，芯被压缩。在紧张之下。即，在真空热处理热应力的作用下，工件的表面最终被压缩并且芯被拉动。这种现象真空热处理受诸如冷却速率，材料成分和热处理工艺等因素的影响。当冷却速度越快时，碳含量和合金组成越高，则在冷却过程中在热应力下产生的不均匀塑性变形越大，残余应力越大。
避免真空热处理淬火开裂的可靠原理是设法使横截面内外的马氏体转变的不平等最小化。仅在马氏体转变区中进行缓慢冷却不足以防止形成纵向裂纹。通常情况下，它只会在不可硬化的零件上产生电弧裂纹。尽管整体快速冷却是必要的成形条件，但其真空热处理形成的真正原因并不是快速冷却（包括马氏体转变区）本身。
一般而言，专业真空热处理过程是加热，保温和冷却过程。它是机械工业的重要组成部分。这是现代制造业生产链中必不可少的重要环节。关键加工程序是制造的基本技术。将钢或钢部件加热到高于临界点AC3或ACM的适当温度一定时间，然后在空气中冷却以获得珠光体结构的热处理工艺。整体真空热处理是一种金属热处理过程，该过程将工件整体加热，然后以适当的速率冷却以获得所需的金相组织，从而改变其整体机械性能。
在专业真空热处理厂家过程中，钢在约450°C的温度下从弹性体转变为塑料，因此很容易显示出不断上升的塑性变形。同时，由于在高于该温度的温度下再结晶，残余应力也将消失。因此，专业真空热处理在快速加热期间，由于工件的内部和外部之间的温差，外部温度达到450°C，并成为塑性区。较低内部温度下的残余内部应力会导致变形，冷却后，该区域就是发生变形的地方。
